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Microzone plates with high-aspect ratio fabricated by e-beam and x-ray lithography

文献类型:外文期刊

作者Wang, DQ; Cao, LF; Xie, CQ; Liu, M; Ye, TC
发表日期2006
源URL[http://10.10.10.126/handle/311049/8692]  
专题微电子研究所_回溯数据库(1992-2008年)
推荐引用方式
GB/T 7714
Wang, DQ,Cao, LF,Xie, CQ,et al. Microzone plates with high-aspect ratio fabricated by e-beam and x-ray lithography. 2006.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

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