Modeling and simulation development of electron beam resist based on cellular automata
文献类型：外文期刊
| 作者 | Li, L; Long, SB; Wang, CS; Wu, WG; Hao, YL; Liu, M |
| 发表日期 | 2006 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/8696]  |
| 专题 | 微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Li, L,Long, SB,Wang, CS,et al. Modeling and simulation development of electron beam resist based on cellular automata. 2006. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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