Atmospheric pressure plasma enhanced chemical vapor deposition of borophosphosilicate glass films
文献类型：外文期刊
| 作者 | Yin, MH; Zhao, LL; Xu, XY; Wang, SG |
| 发表日期 | 2008 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/8796]  |
| 专题 | 微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Yin, MH,Zhao, LL,Xu, XY,et al. Atmospheric pressure plasma enhanced chemical vapor deposition of borophosphosilicate glass films. 2008. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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