DEPOSITION OF GALLIUM OXIDE AND INDIUM OXIDE ON GAAS FOR IN-SITU PROCESS USE BY ALTERNATING SUPPLY OF TEGA, TMIN, AND H2O2 AS SURGE PULSES
文献类型：外文期刊
| 作者 | OZASA, K; YE, TC; AOYAGI, Y |
| 发表日期 | 1994 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/8822]  |
| 专题 | 微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | OZASA, K,YE, TC,AOYAGI, Y. DEPOSITION OF GALLIUM OXIDE AND INDIUM OXIDE ON GAAS FOR IN-SITU PROCESS USE BY ALTERNATING SUPPLY OF TEGA, TMIN, AND H2O2 AS SURGE PULSES. 1994. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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