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高性能栅长27纳米CMOS器件及关键工艺技术研究

文献类型：成果

作者李俊峰; 周小茵; 高文方; 刘明; 陈宝钦; 韩郑生; 钱鹤; 徐秋霞; 叶甜春; 夏洋
获奖日期2005
文献子类北京市科学技术奖
奖励等级一等奖
语种中文
源URL[http://159.226.55.106/handle/172511/18483]  
专题微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年）
作者单位中国科学院微电子研究所
推荐引用方式
GB/T 7714		 李俊峰,周小茵,高文方,等. 高性能栅长27纳米CMOS器件及关键工艺技术研究. . 2005.

入库方式： OAI收割

来源：微电子研究所

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