常见气体声表面波传感器研究进展
文献类型：期刊论文
| 作者 | 赵以贵; 李晶晶; 李冬梅; 柯导明; 陈军宁; 贾锐 |
| 刊名 | 传感器世界
 |
| 出版日期 | 2009 |
| 期号 | 3页码:5，6--10 |
| 关键词 | 声表面波 气体传感器 有害气体 敏感材料 |
| ISSN号 | 1006-883X |
| 英文摘要 | 声表面波（SAW）气体传感器由于具有响应时间快、灵敏度高、体积小、成本低、稳定性好等特点受到广泛关注。本文侧重从敏感材料方面介绍了用于检测几种常见的有毒气体的声波面波传感器的研究进展。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-06-01 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/2184]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子器件与集成技术重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵以贵,李晶晶,李冬梅,等. 常见气体声表面波传感器研究进展[J]. 传感器世界,2009(3):5，6--10. |
| APA | 赵以贵,李晶晶,李冬梅,柯导明,陈军宁,&贾锐.(2009).常见气体声表面波传感器研究进展.传感器世界(3),5，6--10. |
| MLA | 赵以贵,et al."常见气体声表面波传感器研究进展".传感器世界 .3(2009):5，6--10. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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