中国科学院机构知识库网格
Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid
光子筛的超分辨聚焦特性研究

文献类型:期刊论文

作者吴璇; 谢常青; 李亚文; 陈军宁; 贾佳; 朱效立
刊名光电工程
出版日期2009
卷号36期号:3页码:5,130-134
关键词衍射光学 光子筛 波带片 聚焦特性 旁瓣抑制
ISSN号1003-501X
英文摘要

对光子筛的结构进行了优化设计,通过实验研究了光子筛对355nm激光的聚焦特性,并与传统的聚焦元件波带片进行了比较。首先,使用自行编写的光子筛自动生成宏文件程序,优化设计了光子筛图形;制作了特征尺寸为2μm、适用于355nm激光的聚焦光子筛和波带片;搭建了聚焦光斑的测试光路系统,得到了光子筛和波带片对355nm激光的聚焦光斑。通过比较分析,得出光子筛具有更好的聚焦特性以及旁瓣抑制能力的结论。

语种中文
公开日期2010-06-01
源URL[http://10.10.10.126/handle/311049/2186]  
专题微电子研究所_微电子器件与集成技术重点实验室
作者单位中国科学院微电子研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
吴璇,谢常青,李亚文,等. 光子筛的超分辨聚焦特性研究[J]. 光电工程,2009,36(3):5,130-134.
APA 吴璇,谢常青,李亚文,陈军宁,贾佳,&朱效立.(2009).光子筛的超分辨聚焦特性研究.光电工程,36(3),5,130-134.
MLA 吴璇,et al."光子筛的超分辨聚焦特性研究".光电工程 36.3(2009):5,130-134.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

浏览0
下载0
收藏0
其他版本

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。