光子筛的超分辨聚焦特性研究
文献类型:期刊论文
作者 | 吴璇![]() ![]() ![]() ![]() |
刊名 | 光电工程
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出版日期 | 2009 |
卷号 | 36期号:3页码:5,130-134 |
关键词 | 衍射光学 光子筛 波带片 聚焦特性 旁瓣抑制 |
ISSN号 | 1003-501X |
英文摘要 | 对光子筛的结构进行了优化设计,通过实验研究了光子筛对355nm激光的聚焦特性,并与传统的聚焦元件波带片进行了比较。首先,使用自行编写的光子筛自动生成宏文件程序,优化设计了光子筛图形;制作了特征尺寸为2μm、适用于355nm激光的聚焦光子筛和波带片;搭建了聚焦光斑的测试光路系统,得到了光子筛和波带片对355nm激光的聚焦光斑。通过比较分析,得出光子筛具有更好的聚焦特性以及旁瓣抑制能力的结论。 |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2010-06-01 |
源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/2186] ![]() |
专题 | 微电子研究所_微电子器件与集成技术重点实验室 |
作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴璇,谢常青,李亚文,等. 光子筛的超分辨聚焦特性研究[J]. 光电工程,2009,36(3):5,130-134. |
APA | 吴璇,谢常青,李亚文,陈军宁,贾佳,&朱效立.(2009).光子筛的超分辨聚焦特性研究.光电工程,36(3),5,130-134. |
MLA | 吴璇,et al."光子筛的超分辨聚焦特性研究".光电工程 36.3(2009):5,130-134. |
入库方式: OAI收割
来源:微电子研究所
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