气体声表面波传感器的研究进展
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李昊峰 ; 刘明; 陈晨; 李维龙; 贾锐
|
| 刊名 | 微纳电子技术
 |
| 出版日期 | 2009 |
| 卷号 | 46期号:12页码:6，715-719,738 |
| 关键词 | 声表面波 气体传感器 换能器 插入损耗 敏感膜 有机聚合物 |
| ISSN号 | 1671-4776 |
| 其他题名 | Progress of SAW Gas Sensors |
| 英文摘要 | 主要从声表面波（SAW）结构和敏感膜的角度综述了SAW气体传感器的研究现状。重点分析了国外出现的换能器新型结构,对其优点进行了初步分析,并和传统的SAW气体传感器结构做了比较,指出这些新结构尽管存在一些缺点,目前还不能取代传统的通用式结构,但是在某些特殊场合具有传统结构所不具备的优点。在敏感膜方面,主要从新材料方面入手,分析了目前主要使用的敏感膜材料,并结合SAW气体传感器的发展趋势,总结出敏感膜的发展方向。同时,对SAW气体传感器的其他组成部分如衬底材料和信号处理电路也作了简单的回顾,最后结合国内外研究成果对SAW气体传感器的发展做了展望。[著者文摘] |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-06-01 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/2192]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子器件与集成技术重点实验室 |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李昊峰,刘明,陈晨,等. 气体声表面波传感器的研究进展[J]. 微纳电子技术,2009,46(12):6，715-719,738. |
| APA | 李昊峰,刘明,陈晨,李维龙,&贾锐.(2009).气体声表面波传感器的研究进展.微纳电子技术,46(12),6，715-719,738. |
| MLA | 李昊峰,et al."气体声表面波传感器的研究进展".微纳电子技术 46.12(2009):6，715-719,738. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。