Fabrication of high quality two-dimensional photonic crystal mask layer patterns
文献类型：外文期刊
| 作者 | Niu, JB; Xu, B; Ye, XL; Peng, YS; Wang, ZG; Jia, R |
| 发表日期 | 2009 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/8886]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子器件与集成技术重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Niu, JB,Xu, B,Ye, XL,et al. Fabrication of high quality two-dimensional photonic crystal mask layer patterns. 2009. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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