Enhanced charge storage characteristics of silicon nanocrystals fabricated by electron-beam coevaporation of Si and SiOx(x=1 or 2)
文献类型:外文期刊
作者 | Li, WL; Jia, R; Chen, C; Wu, NJ; Tamotsu, H; Kasai, S; Liu, M; Liu, XY; Ye, TC; Li, HF |
发表日期 | 2009 |
源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/8890] ![]() |
专题 | 微电子研究所_微电子器件与集成技术重点实验室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | Li, WL,Jia, R,Chen, C,et al. Enhanced charge storage characteristics of silicon nanocrystals fabricated by electron-beam coevaporation of Si and SiOx(x=1 or 2). 2009. |
入库方式: OAI收割
来源:微电子研究所
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