Ordered Arrays of Vertically Aligned [110] Silicon Nanowires by Suppressing the Crystallographically Preferred Etching Directions
文献类型：外文期刊
| 作者 | Senz, S; Huang, ZP; Shimizu, T; Zhang, Z; Zhang, XX; Lee, W; Geyer, N; Gosele, U |
| 发表日期 | 2009 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/8896]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子器件与集成技术重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Senz, S,Huang, ZP,Shimizu, T,et al. Ordered Arrays of Vertically Aligned [110] Silicon Nanowires by Suppressing the Crystallographically Preferred Etching Directions. 2009. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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