High-Performance Si Nanowire Transistors on Fully Si Bulk Substrate From Top-Down Approach: Simulation and Fabrication
文献类型：外文期刊
| 作者 | Zhuge, J; Tian, Y; Wang, RS; Huang, R; Wang, YQ; Chen, BQ; Wang, YY; Liu, J; Zhang, X |
| 发表日期 | 2010 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/8914]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子器件与集成技术重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Zhuge, J,Tian, Y,Wang, RS,et al. High-Performance Si Nanowire Transistors on Fully Si Bulk Substrate From Top-Down Approach: Simulation and Fabrication. 2010. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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