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电容器件及其制造方法

文献类型:专利

作者王宏; 刘欣; 刘明; 姬濯宇; 商立伟; 韩买兴; 陈映平
专利号CN201110132733.7
著作权人中国科学院微电子研究所
国家中国
文献子类发明专利
英文摘要

本发明实施例公开了一种电容器件,包括:下电极;下电极上的介质层,其中,所述介质层包括有机介质层;介质层上的上电极。通过形成包括有机介质层的介质层,有机介质层具有更好的电子俘获能力,可以减少电容器件的漏电,从而提高电容器件的性能。 

公开日期2012-11-21
申请日期2011-05-20
语种中文
源URL[http://10.10.10.126/handle/311049/10353]  
专题微电子研究所_微电子器件与集成技术重点实验室
作者单位中国科学院微电子研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
王宏,刘欣,刘明,等. 电容器件及其制造方法. CN201110132733.7.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

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