电容器件及其制造方法
文献类型:专利
作者 | 王宏![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() |
专利号 | CN201110132733.7 |
著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明专利 |
英文摘要 | 本发明实施例公开了一种电容器件,包括:下电极;下电极上的介质层,其中,所述介质层包括有机介质层;介质层上的上电极。通过形成包括有机介质层的介质层,有机介质层具有更好的电子俘获能力,可以减少电容器件的漏电,从而提高电容器件的性能。 |
公开日期 | 2012-11-21 |
申请日期 | 2011-05-20 |
语种 | 中文 |
源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/10353] ![]() |
专题 | 微电子研究所_微电子器件与集成技术重点实验室 |
作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王宏,刘欣,刘明,等. 电容器件及其制造方法. CN201110132733.7. |
入库方式: OAI收割
来源:微电子研究所
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