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一种制作声表面波传感器二氧化钛掺杂酞菁铜敏感膜的方法

文献类型:专利

作者李冬梅; 汪幸; 刘明; 闫学锋; 侯成诚; 周文
专利号CN201110155259.X
著作权人中国科学院微电子研究所
国家中国
文献子类发明专利
英文摘要

本发明公开了一种制作声表面波传感器二氧化钛掺杂酞菁铜敏感膜的方法,该方法是由TiO2掺杂CuPc作为敏感材料,通过混合和压制形成TiO2与CuPc混合材料,电子束蒸发该TiO2与CuPc混合材料,并剥离光刻胶形成二氧化钛掺杂酞菁铜敏感膜。本发明通过将TiO2加入CuPc中制作聚合敏感膜,使得常温下使用酞菁材料去检测NO2气体变为可能,而且具有该二氧化钛掺杂酞菁铜敏感膜的传感器与单纯CuPc敏感膜的传感器相比,检测低浓度NO2气体时在选择性、灵敏度和检测质量均有大幅的提高。

公开日期2012-12-12
申请日期2011-06-10
语种中文
源URL[http://10.10.10.126/handle/311049/10367]  
专题微电子研究所_微电子器件与集成技术重点实验室
作者单位中国科学院微电子研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
李冬梅,汪幸,刘明,等. 一种制作声表面波传感器二氧化钛掺杂酞菁铜敏感膜的方法. CN201110155259.X.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

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