Hybrid lithography for x-ray diffractive optical elements
文献类型：期刊论文
| 作者 | Xie CQ(谢常青) ; Zhu XL(朱效立); Li HL(李海亮); Niu JB(牛洁斌); Gao N(高南); Hua YL(华一磊); Shi LN(史丽娜); Liu M(刘明); Zhang MH(张满红)
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| 刊名 | SPIE Newsroom
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| 出版日期 | 2014-04-22 |
| 公开日期 | 2015-04-15 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/12518]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子器件与集成技术重点实验室 |
| 通讯作者 | Zhang MH(张满红) |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Xie CQ,Zhu XL,Li HL,et al. Hybrid lithography for x-ray diffractive optical elements[J]. SPIE Newsroom,2014. |
| APA | Xie CQ.,Zhu XL.,Li HL.,Niu JB.,Gao N.,...&Zhang MH.(2014).Hybrid lithography for x-ray diffractive optical elements.SPIE Newsroom. |
| MLA | Xie CQ,et al."Hybrid lithography for x-ray diffractive optical elements".SPIE Newsroom (2014). |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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