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一种电荷俘获非挥发存储器及其制造方法

文献类型:专利

作者王晨杰; 谢常青; 刘璟; 王琴; 张满红; 霍宗亮; 刘明
发表日期2015-08-26
专利号CN201110137484.0
著作权人中国科学院微电子研究所
国家中国
文献子类发明专利
英文摘要

本发明公开了一种电荷俘获非挥发存储器及其制造方法。所述存储器包括:半导体衬底,所述衬底中形成源、漏区域;形成于所述衬底之上的多叠层栅介质层结构,其中,所述栅介质层自衬底开始依次包括:隧穿层、分裂栅结构中形成材料不同的两个电荷存储区以及隔离在所述两个电荷存储区之间及上层的阻挡层;形成于所述阻挡层之上的控制栅电极;覆盖所述控制栅电极的钝化保护层,通过所述钝化保护层,从所述控制栅电极及源、漏区域引出金属互联。通过本发明,可以避免出现二位串扰及源端注入现象,提高器件的可靠性。

公开日期2012-11-28
申请日期2011-05-25
语种中文
源URL[http://10.10.10.126/handle/311049/14739]  
专题微电子研究所_微电子器件与集成技术重点实验室
作者单位中国科学院微电子研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
王晨杰,谢常青,刘璟,等. 一种电荷俘获非挥发存储器及其制造方法. CN201110137484.0. 2015-08-26.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

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