INVESTIGATION OF THE FORMING PROGRAM FAILTURE IN ITIR STRUCTURE
文献类型：会议论文
| 作者 | Liu M(刘明) ; Long SB(龙世兵); Wang GM(王国明); Zhang MY(张美芸); Liu HT(刘红涛); Lv HB(吕杭炳); Xu XX(许晓欣)
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| 出版日期 | 2015-12-28 |
| 语种 | 英语 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/15258]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子器件与集成技术重点实验室 |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Liu M,Long SB,Wang GM,et al. INVESTIGATION OF THE FORMING PROGRAM FAILTURE IN ITIR STRUCTURE[C]. 见:. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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