本发明提供了一种电子束光刻对准标记在芯片上的布局，所述芯片包括第一区域和围绕所述第一区域的第二区域，所述第一区域包括所述芯片的中心，所述布局设置在所述第二区域，其包括，设置在所述第二区域的若干个对准标识符；相邻两个所述对准标识符之间设置有标识线。该布局更方便对准标记掩模板的制造，能更容易地在电子束套刻对准时寻找标记，能应用于任意大小形状的衬底，能够设置多组对准标记以满足多次电子束套刻对准曝光，而且该布局有利于提高芯片的利用率。