Two-dimensional gratings of hexagonal holes for high order diffraction suppression
文献类型：期刊论文
| 作者 | Liu ZW(刘子维); Shi LN(史丽娜) ; Pu TC(浦探超); Li HL(李海亮); Niu JB(牛洁斌); Wang GY(王冠亚); Xie CQ(谢常青)
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| 刊名 | OPTICS EXPRESS
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| 出版日期 | 2017-01-23 |
| 文献子类 | 期刊论文 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/18139]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子器件与集成技术重点实验室 |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Liu ZW,Shi LN,Pu TC,et al. Two-dimensional gratings of hexagonal holes for high order diffraction suppression[J]. OPTICS EXPRESS,2017. |
| APA | Liu ZW.,Shi LN.,Pu TC.,Li HL.,Niu JB.,...&Xie CQ.(2017).Two-dimensional gratings of hexagonal holes for high order diffraction suppression.OPTICS EXPRESS. |
| MLA | Liu ZW,et al."Two-dimensional gratings of hexagonal holes for high order diffraction suppression".OPTICS EXPRESS (2017). |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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