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微电子研究所
中国科学院微电子研究所
微电子器件与集成技术重点实验室
微纳结构“自上而下”制备核心技术与集成应用
文献类型:成果
作者
刘明
;
谢常青
;
陈宝钦
;
卞福良
;
龙世兵
;
田炜
;
商立伟
;
朱效立
;
姬濯宇
;
沈俊然
获奖日期
2010
文献子类
北京市科学技术奖
奖励等级
一等奖
语种
中文
源URL
[
http://159.226.55.106/handle/172511/18478
]
专题
微电子研究所_微电子器件与集成技术重点实验室
作者单位
中国科学院微电子研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
刘明,谢常青,陈宝钦,等. 微纳结构“自上而下”制备核心技术与集成应用. . 2010.
入库方式:
OAI收割
来源:
微电子研究所
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