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微纳结构“自上而下”制备核心技术与集成应用

文献类型:成果

作者刘明; 谢常青; 陈宝钦; 卞福良; 龙世兵; 田炜; 商立伟; 朱效立; 姬濯宇; 沈俊然
获奖日期2010
文献子类北京市科学技术奖
奖励等级一等奖
语种中文
源URL[http://159.226.55.106/handle/172511/18478]  
专题微电子研究所_微电子器件与集成技术重点实验室
作者单位中国科学院微电子研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
刘明,谢常青,陈宝钦,等. 微纳结构“自上而下”制备核心技术与集成应用. . 2010.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

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