高精度微纳结构掩模制造核心技术
文献类型：成果
| 作者 | 刘明 ; 谢常青; 叶甜春; 陈宝钦; 卞福良; 龙世兵
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| 获奖日期 | 2014 |
| 文献子类 | 国家技术发明奖 |
| 奖励等级 | 二等奖 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/18479]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子器件与集成技术重点实验室 |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘明,谢常青,叶甜春,等. 高精度微纳结构掩模制造核心技术. . 2014. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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