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声表面波温度传感器

文献类型:专利

作者周磊; 李冬梅; 梁圣法; 谢常青; 刘明
发表日期2018-02-13
专利号CN201510062494.0
著作权人中国科学院微电子研究所
国家中国
文献子类发明专利
英文摘要

一种声表面波温度传感器,包括压电陶瓷衬底、反射栅和叉指换能器,其特征在于:所述叉指换能器采用了切比雪夫窗函数作为加权函数的变迹加权设计。依照本发明的采用切比雪夫窗函数变迹加权的声表面波温度传感器,增强温度传感器对其频率响应特性中的旁瓣的抑制能力,解决器件频率响应中主瓣识别困难的问题,增强了声表面波温度传感器的准确性和实用性,同时具有良好的频率温度特性。

公开日期2015-06-03
申请日期2015-02-05
语种中文
源URL[http://159.226.55.107/handle/172511/18617]  
专题微电子研究所_微电子器件与集成技术重点实验室
作者单位中国科学院微电子研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
周磊,李冬梅,梁圣法,等. 声表面波温度传感器. CN201510062494.0. 2018-02-13.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

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