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基于导波共振的传感器及传感器测试系统

文献类型:专利

作者史丽娜; 谢常青; 牛洁斌; 李海亮; 刘明
发表日期2018-04-20
专利号CN201510413211.2
著作权人中国科学院微电子研究所
国家中国
文献子类发明专利
英文摘要

 本发明公开了一种基于导波共振的传感器及传感器测试系统。该传感器包括:衬底;形成于该衬底上的自支撑薄膜结构;以及形成于该自支撑薄膜结构中的球形空气孔阵列,用于承载待测样品,利用该球形空气孔阵列中的导波共振来探测该待测样品的折射率变化。本发明传感器采用周期纳米结构,体积小,易于携带。

公开日期2015-11-11
申请日期2012-02-07
语种中文
源URL[http://159.226.55.107/handle/172511/18621]  
专题微电子研究所_微电子器件与集成技术重点实验室
作者单位中国科学院微电子研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
史丽娜,谢常青,牛洁斌,等. 基于导波共振的传感器及传感器测试系统. CN201510413211.2. 2018-04-20.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

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