一种Cu基阻变存储器的制备方法及存储器
文献类型:专利
作者 | 吕杭炳![]() ![]() ![]() ![]() |
发表日期 | 2018-07-31 |
专利号 | CN201610258335.2 |
著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明专利 |
英文摘要 | 本发明公开了一种Cu基阻变存储器的制备方法及存储器,该制备方法包括:通过大马士革铜互连工艺在沟槽中形成铜引线,所述铜引线包含用于生长存储介质的铜下电极,所述铜引线设置于第一盖帽层上方;在所述铜引线上方形成第二盖帽层;在所述第二盖帽层上与所述铜下电极相对应的位置制作孔洞,所述孔洞用于暴露所述铜下电极;对所述铜下电极构图化合处理生成化合物阻挡层,所述化合物阻挡层为元素Cu、Si及N化合形成的化合物或者为元素Cu、Ge及N化合形成的化合物;在所述化合物阻挡层上沉积固态电解液材料和上电极。通过上述技术方案,解决了现有技术中Cu基阻变存储器中Cu离子的注入效率较高的技术问题,提高了存储器的疲劳特性。 |
公开日期 | 2016-07-20 |
申请日期 | 2016-04-22 |
语种 | 中文 |
源URL | [http://159.226.55.107/handle/172511/18626] ![]() |
专题 | 微电子研究所_微电子器件与集成技术重点实验室 |
作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 吕杭炳,刘明,刘琦,等. 一种Cu基阻变存储器的制备方法及存储器. CN201610258335.2. 2018-07-31. |
入库方式: OAI收割
来源:微电子研究所
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