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一种Cu基阻变存储器的制备方法及存储器

文献类型:专利

作者吕杭炳; 刘明; 刘琦; 龙世兵
发表日期2018-07-31
专利号CN201610258335.2
著作权人中国科学院微电子研究所
国家中国
文献子类发明专利
英文摘要

本发明公开了一种Cu基阻变存储器的制备方法及存储器,该制备方法包括:通过大马士革铜互连工艺在沟槽中形成铜引线,所述铜引线包含用于生长存储介质的铜下电极,所述铜引线设置于第一盖帽层上方;在所述铜引线上方形成第二盖帽层;在所述第二盖帽层上与所述铜下电极相对应的位置制作孔洞,所述孔洞用于暴露所述铜下电极;对所述铜下电极构图化合处理生成化合物阻挡层,所述化合物阻挡层为元素Cu、Si及N化合形成的化合物或者为元素Cu、Ge及N化合形成的化合物;在所述化合物阻挡层上沉积固态电解液材料和上电极。通过上述技术方案,解决了现有技术中Cu基阻变存储器中Cu离子的注入效率较高的技术问题,提高了存储器的疲劳特性。

公开日期2016-07-20
申请日期2016-04-22
语种中文
源URL[http://159.226.55.107/handle/172511/18626]  
专题微电子研究所_微电子器件与集成技术重点实验室
作者单位中国科学院微电子研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
吕杭炳,刘明,刘琦,等. 一种Cu基阻变存储器的制备方法及存储器. CN201610258335.2. 2018-07-31.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

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