Effects of structure parameters on high-order diffraction suppression of quasi-periodic gratings
文献类型：期刊论文
| 作者 | Pu TC(浦探超); Liu ZW(刘子维); Wang GY(王冠亚); Niu JB(牛洁斌) |
| 刊名 | josab
 |
| 出版日期 | 2018-03-07 |
| 文献子类 | 期刊论文 |
| 源URL | [http://159.226.55.107/handle/172511/18958]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子器件与集成技术重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Pu TC,Liu ZW,Wang GY,et al. Effects of structure parameters on high-order diffraction suppression of quasi-periodic gratings[J]. josab,2018. |
| APA | 浦探超,刘子维,王冠亚,&牛洁斌.(2018).Effects of structure parameters on high-order diffraction suppression of quasi-periodic gratings.josab. |
| MLA | 浦探超,et al."Effects of structure parameters on high-order diffraction suppression of quasi-periodic gratings".josab (2018). |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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