Suppression of higher diffraction orders in the extreme ultraviolet range by a reflective quasi-random square nano-pillar array
文献类型：期刊论文
| 作者 | Zhu XL(朱效立) ; Xie CQ(谢常青); Hua YL(华一磊)
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| 刊名 | REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS
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| 出版日期 | 2018-09-20 |
| 文献子类 | 期刊论文 |
| 源URL | [http://159.226.55.107/handle/172511/18960]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子器件与集成技术重点实验室 |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Zhu XL,Xie CQ,Hua YL. Suppression of higher diffraction orders in the extreme ultraviolet range by a reflective quasi-random square nano-pillar array[J]. REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS,2018. |
| APA | Zhu XL,Xie CQ,&Hua YL.(2018).Suppression of higher diffraction orders in the extreme ultraviolet range by a reflective quasi-random square nano-pillar array.REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS. |
| MLA | Zhu XL,et al."Suppression of higher diffraction orders in the extreme ultraviolet range by a reflective quasi-random square nano-pillar array".REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS (2018). |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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