一种光电位移传感器及其制备方法
文献类型：专利
| 作者 | 吴茹菲; 洪何清 |
| 发表日期 | 2009-10-16 |
| 专利号 | CN101672624 |
| 著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明 |
| 英文摘要 | 本发明涉及一种光电位移传感器及其制备方法，属于传感器技术领域。所述光电位移传 感器包括激光器、光纤和位移刻度板，激光器安装于被测物体的主轴上，并可沿被测物体的 主轴进行运动；激光器产生的激光束通过光纤照射到位移刻度板上；位移刻度板上的位移刻 度由具有光电导效应的半导体材料制成，位移刻度板用于感应通过光纤传输的激光束，并产 生光电流。本发明光电位移传感器的结构简单紧凑、体积小、便于携带且测量精度相对传统 的位移传感器大幅度提高，由于采用光电技术实现了非接触式位移传感，可以延长传感器的 使用寿命，同时能够应用于微电子的大规模生产技术中，使得生产成本下降，传感器的价格 相对国外类似高端产品的价格低廉。 |
| 公开日期 | 2010-03-17 ; 2010-11-26 |
| 语种 | 中文 |
| 状态 | 公开 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/8450]  |
| 专题 | 微电子研究所_高频高压器件与集成研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴茹菲,洪何清. 一种光电位移传感器及其制备方法. CN101672624. 2009-10-16. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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