DC AND RF CHARACTERISTICS STUDY OF MIM CAPACITORS WITH VARIOUS Al2O3 THICKNESSES
文献类型:期刊论文
| 作者 | Zhou SH(周生辉); Liu HG(刘洪刚); Yang X(杨旭); Ceng ZH(曾振华); Zhang XF(张旭芳); Zhou JH(周佳辉) |
| 刊名 | ICSICT2014, Guilin China
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| 出版日期 | 2014-09-16 |
| 公开日期 | 2015-04-16 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/12548] ![]() |
| 专题 | 微电子研究所_高频高压器件与集成研发中心 |
| 通讯作者 | Zhou SH(周生辉) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Zhou SH,Liu HG,Yang X,et al. DC AND RF CHARACTERISTICS STUDY OF MIM CAPACITORS WITH VARIOUS Al2O3 THICKNESSES[J]. ICSICT2014, Guilin China,2014. |
| APA | 周生辉,刘洪刚,杨旭,曾振华,张旭芳,&周佳辉.(2014).DC AND RF CHARACTERISTICS STUDY OF MIM CAPACITORS WITH VARIOUS Al2O3 THICKNESSES.ICSICT2014, Guilin China. |
| MLA | 周生辉,et al."DC AND RF CHARACTERISTICS STUDY OF MIM CAPACITORS WITH VARIOUS Al2O3 THICKNESSES".ICSICT2014, Guilin China (2014). |
入库方式: OAI收割
来源:微电子研究所
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