本发明公开了一种高频频率源装置。该高频频率源装置包括：单片GaN?HEMT微波振荡器，用于产生高功率的微波振荡信号；锁相电路，用于接收微波振荡信号，实现对单片GaN?HEMT微波振荡器输出的微波振荡信号的锁相；倍频电路，用于接收单片GaN?HEMT微波振荡器产生的经过锁相的微波振荡信号，并将微波振荡信号倍频到预设高频频率后输出。本发明高频频率源装置克服了现有技术中基于二极管负阻结构的高频频率源装置噪声性能差的缺陷，具有低噪声、可调谐性能高、稳定性能好的优点。