晶硅良好表面钝化技术及其在n 型电池中的应用
文献类型：期刊论文
| 作者 | 刘新宇 ; 金智; 李昊峰; 窦丙飞; 贾锐; 冯泽增
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| 刊名 | 真空科学与技术学报
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| 出版日期 | 2015-12-13 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2016-05-26 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/14953]  |
| 专题 | 微电子研究所_高频高压器件与集成研发中心 |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘新宇,金智,李昊峰,等. 晶硅良好表面钝化技术及其在n 型电池中的应用[J]. 真空科学与技术学报,2015. |
| APA | 刘新宇,金智,李昊峰,窦丙飞,贾锐,&冯泽增.(2015).晶硅良好表面钝化技术及其在n 型电池中的应用.真空科学与技术学报. |
| MLA | 刘新宇,et al."晶硅良好表面钝化技术及其在n 型电池中的应用".真空科学与技术学报 (2015). |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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