碳膜保护对高温激活SiC 表面形貌的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 周正东; 申华军; 史晶晶; 王弋宇; 李诚瞻 |
| 刊名 | 电子器件
 |
| 出版日期 | 2015-12-01 |
| 公开日期 | 2016-05-26 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/14973]  |
| 专题 | 微电子研究所_高频高压器件与集成研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 周正东,申华军,史晶晶,等. 碳膜保护对高温激活SiC 表面形貌的影响[J]. 电子器件,2015. |
| APA | 周正东,申华军,史晶晶,王弋宇,&李诚瞻.(2015).碳膜保护对高温激活SiC 表面形貌的影响.电子器件. |
| MLA | 周正东,et al."碳膜保护对高温激活SiC 表面形貌的影响".电子器件 (2015). |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。