锗基MOS界面以及PMOS器件工艺研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 薛百清 |
| 答辩日期 | 2013-05 |
| 文献子类 | 硕士 |
| 授予单位 | 中国科学院大学 |
| 导师 | 刘洪刚 |
| 学位专业 | 电子与通信工程 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/17167]  |
| 专题 | 微电子研究所_高频高压器件与集成研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 薛百清. 锗基MOS界面以及PMOS器件工艺研究[D]. 中国科学院大学. 2013. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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