本发明公开了一种结合氧化锌纳米结构超小绒面太阳电池及其制备方法，该太阳电池包括：表面具有超小绒面的硅片；在硅片靠近纳米超小绒面结构处形成PN结；生长在超小绒面表面和间隙中的氧化锌纳米结构；在硅片具有超小绒面一侧的钝化层；在硅片具有超小绒面一侧的银浆料，以形成太阳电池的前电极；在硅片没有超小绒面一侧的铝浆料，以形成太阳电池的背电极。本发明通过结合氧化锌纳米棒能够进一步增加短波段光子吸收。另外硅基微纳结构空隙问的氧化锌填充一方面有效增加了电极接触面积，形成良好电极接触，另一方面还可以增强超小绒面电池横向载流子输运同时具有一定的钝化作用。本发明有效提高了硅基纳米结构太阳电池的效率。