Effect of Annealing on the Characteristics of Ti/Al Ohmic Contacts to p-Type 4H-SiC
文献类型：期刊论文
| 作者 | Bai Y(白云) ; Liu XY(刘新宇); Tang YD(汤益丹); Shen HJ(申华军); Zhang XF(张旭芳); Guo F(郭飞); Peng CY(彭朝阳)
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| 刊名 | Materials Science Forum
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| 出版日期 | 2017-05-15 |
| 文献子类 | 期刊论文 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/18009]  |
| 专题 | 微电子研究所_高频高压器件与集成研发中心 |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Bai Y,Liu XY,Tang YD,et al. Effect of Annealing on the Characteristics of Ti/Al Ohmic Contacts to p-Type 4H-SiC[J]. Materials Science Forum,2017. |
| APA | Bai Y.,Liu XY.,Tang YD.,Shen HJ.,Zhang XF.,...&Peng CY.(2017).Effect of Annealing on the Characteristics of Ti/Al Ohmic Contacts to p-Type 4H-SiC.Materials Science Forum. |
| MLA | Bai Y,et al."Effect of Annealing on the Characteristics of Ti/Al Ohmic Contacts to p-Type 4H-SiC".Materials Science Forum (2017). |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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