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先进的深亚微米工艺技术及新型器件

文献类型:成果

作者赵知夷; 叶甜春; 刘训春; 吴德馨; 李兵; 汪锁发; 刘明; 曹振亚; 陈宝钦; 刘晓伟
获奖日期2004
文献子类北京市科学技术奖
奖励等级一等奖
语种中文
源URL[http://159.226.55.106/handle/172511/18470]  
专题微电子研究所_高频高压器件与集成研发中心
作者单位中国科学院微电子研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
赵知夷,叶甜春,刘训春,等. 先进的深亚微米工艺技术及新型器件. . 2004.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

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