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微电子研究所
中国科学院微电子研究所
高频高压器件与集成研发中心
先进的深亚微米工艺技术及新型器件
文献类型:成果
作者
赵知夷
;
叶甜春
;
刘训春
;
吴德馨
;
李兵
;
汪锁发
;
刘明
;
曹振亚
;
陈宝钦
;
刘晓伟
获奖日期
2004
文献子类
北京市科学技术奖
奖励等级
一等奖
语种
中文
源URL
[
http://159.226.55.106/handle/172511/18470
]
专题
微电子研究所_高频高压器件与集成研发中心
作者单位
中国科学院微电子研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
赵知夷,叶甜春,刘训春,等. 先进的深亚微米工艺技术及新型器件. . 2004.
入库方式:
OAI收割
来源:
微电子研究所
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