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一种石墨烯/砷化镓太阳电池的制备方法

文献类型:专利

作者戴小宛; 贾锐; 孙恒超; 金智; 刘新宇; 陶科
发表日期2018-02-02
专利号CN201611130606.2
著作权人中国科学院微电子研究所
国家中国
文献子类发明专利
英文摘要

本发明提供了一种石墨烯/砷化镓太阳电池的制备方法,包括以下步骤:1)在砷化镓外延片表面制备窗口层,然后在窗口层表面制备重掺杂砷化镓帽子层;2)在重掺杂砷化镓帽子层表面制备正面电极,在砷化镓外延片远离窗口层的表面制备背面电极;3)采用化学腐蚀法腐蚀正面电极栅线间的重掺杂砷化镓帽子层,露出窗口层;4)在所述露出的窗口层表面制备石墨烯层;5)在所述石墨烯层表面制备减反层,得到所述石墨烯/砷化镓太阳电池。本发明将石墨烯作为一种透明导电材料应用于砷化镓太阳电池中,进一步提高了砷化镓太阳电池的转化效率,更远高于石墨烯/砷化镓肖特基结太阳电池。且本发明的太阳电池制备成本低,工艺简单,有利于产业化应用。

公开日期2017-02-15
申请日期2018-02-02
语种中文
源URL[http://159.226.55.107/handle/172511/18656]  
专题微电子研究所_高频高压器件与集成研发中心
作者单位中国科学院微电子研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
戴小宛,贾锐,孙恒超,等. 一种石墨烯/砷化镓太阳电池的制备方法. CN201611130606.2. 2018-02-02.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

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