一种石墨烯/砷化镓太阳电池的制备方法
文献类型:专利
作者 | 戴小宛; 贾锐![]() ![]() ![]() ![]() ![]() |
发表日期 | 2018-02-02 |
专利号 | CN201611130606.2 |
著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明专利 |
英文摘要 | 本发明提供了一种石墨烯/砷化镓太阳电池的制备方法,包括以下步骤:1)在砷化镓外延片表面制备窗口层,然后在窗口层表面制备重掺杂砷化镓帽子层;2)在重掺杂砷化镓帽子层表面制备正面电极,在砷化镓外延片远离窗口层的表面制备背面电极;3)采用化学腐蚀法腐蚀正面电极栅线间的重掺杂砷化镓帽子层,露出窗口层;4)在所述露出的窗口层表面制备石墨烯层;5)在所述石墨烯层表面制备减反层,得到所述石墨烯/砷化镓太阳电池。本发明将石墨烯作为一种透明导电材料应用于砷化镓太阳电池中,进一步提高了砷化镓太阳电池的转化效率,更远高于石墨烯/砷化镓肖特基结太阳电池。且本发明的太阳电池制备成本低,工艺简单,有利于产业化应用。 |
公开日期 | 2017-02-15 |
申请日期 | 2018-02-02 |
语种 | 中文 |
源URL | [http://159.226.55.107/handle/172511/18656] ![]() |
专题 | 微电子研究所_高频高压器件与集成研发中心 |
作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 戴小宛,贾锐,孙恒超,等. 一种石墨烯/砷化镓太阳电池的制备方法. CN201611130606.2. 2018-02-02. |
入库方式: OAI收割
来源:微电子研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。