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一种石墨烯/砷化镓太阳电池的制备方法

文献类型:专利

作者刘新宇; 金智; 戴小宛; 桂羊羊; 孙恒超; 陶科; 贾锐
发表日期2018-02-22
专利号CN201611129480.7
著作权人中国科学院微电子研究所
国家中国
文献子类发明专利
英文摘要

本发明提供了一种石墨烯/砷化镓太阳电池的制备方法,包括以下步骤:1)将石墨烯转移至砷化镓外延片表面的窗口层表面,形成石墨烯层;2)在石墨烯层表面制备重掺杂砷化镓帽子层;3)在砷化镓外延片衬底表面制备背面电极,在重掺杂砷化镓帽子层表面制备正面电极;4)采用化学腐蚀法腐蚀正面电极栅线间的重掺杂砷化镓帽子层,露出石墨烯层,在所述露出的石墨烯层表面制备减反层。本发明以石墨烯层作为透明导电层,通过石墨烯转移工艺将单层或多层石墨烯转移至传统单结或多结砷化镓太阳电池的窗口层与重掺杂砷化镓帽子层之间,可促进光生载流子的横向输运,减少光生载流的复合中心,减小串联电阻并提高填充因子,提高太阳电池的光电转化效率。

公开日期2017-02-22
申请日期2018-02-02
语种中文
源URL[http://159.226.55.107/handle/172511/18657]  
专题微电子研究所_高频高压器件与集成研发中心
作者单位中国科学院微电子研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
刘新宇,金智,戴小宛,等. 一种石墨烯/砷化镓太阳电池的制备方法. CN201611129480.7. 2018-02-22.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

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