金属石墨烯双面接触结构的制备方法及石墨烯晶体管
文献类型:专利
作者 | 彭松昂![]() ![]() ![]() ![]() |
发表日期 | 2018-09-11 |
专利号 | CN201610306028.7 |
著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明专利 |
英文摘要 | 一种金属石墨烯双面接触结构的制备方法及石墨烯晶体管,该制备方法包括:在衬底上光刻定义出需要金属接触的区域,在光刻胶的保护下,利用干法选择性刻蚀出用于沉积下层金属的凹槽;电子束蒸发下层金属,利用剥离工艺得到下层金属图案;转移石墨烯到透明衬底上,旋涂光刻胶,采用从背面曝光的方式,利用已有的下层金属作为光刻掩模,实现上层金属的自对准图形;沉积金属,自对准地形成金属与石墨烯双面接触结构。本发明的方法可以有效保证上下层金属的对准结构,减小石墨烯和金属之间的接触电阻,从而提高石墨烯电子器件的性能。 |
公开日期 | 2016-08-31 |
申请日期 | 2016-05-10 |
语种 | 中文 |
源URL | [http://159.226.55.107/handle/172511/18679] ![]() |
专题 | 微电子研究所_高频高压器件与集成研发中心 |
作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 彭松昂,张大勇,史敬元,等. 金属石墨烯双面接触结构的制备方法及石墨烯晶体管. CN201610306028.7. 2018-09-11. |
入库方式: OAI收割
来源:微电子研究所
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