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金属石墨烯双面接触结构的制备方法及石墨烯晶体管

文献类型:专利

作者彭松昂; 张大勇; 史敬元; 金智; 毛达诚; 王少青
发表日期2018-09-11
专利号CN201610306028.7
著作权人中国科学院微电子研究所
国家中国
文献子类发明专利
英文摘要

一种金属石墨烯双面接触结构的制备方法及石墨烯晶体管,该制备方法包括:在衬底上光刻定义出需要金属接触的区域,在光刻胶的保护下,利用干法选择性刻蚀出用于沉积下层金属的凹槽;电子束蒸发下层金属,利用剥离工艺得到下层金属图案;转移石墨烯到透明衬底上,旋涂光刻胶,采用从背面曝光的方式,利用已有的下层金属作为光刻掩模,实现上层金属的自对准图形;沉积金属,自对准地形成金属与石墨烯双面接触结构。本发明的方法可以有效保证上下层金属的对准结构,减小石墨烯和金属之间的接触电阻,从而提高石墨烯电子器件的性能。

公开日期2016-08-31
申请日期2016-05-10
语种中文
源URL[http://159.226.55.107/handle/172511/18679]  
专题微电子研究所_高频高压器件与集成研发中心
作者单位中国科学院微电子研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
彭松昂,张大勇,史敬元,等. 金属石墨烯双面接触结构的制备方法及石墨烯晶体管. CN201610306028.7. 2018-09-11.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

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