Formaldehyde gas sensor based on TiO2 thin membrane integrated with nano silicon structure
文献类型：期刊论文
| 作者 | Ye L(叶丽); Zheng X(郑轩); Ming AJ(明安杰) ; Chen FH(陈风华); Sun XL(孙西龙); Liu WB(刘卫兵); Li CB(李超波); Ou W(欧文); Wang WB(王玮冰); Chen DP(陈大鹏)
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| 刊名 | OPTOELECTRONICS LETTERS
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| 出版日期 | 2016-07-01 |
| 文献子类 | 期刊论文 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/16114]  |
| 专题 | 微电子研究所_智能感知研发中心 |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Ye L,Zheng X,Ming AJ,et al. Formaldehyde gas sensor based on TiO2 thin membrane integrated with nano silicon structure[J]. OPTOELECTRONICS LETTERS,2016. |
| APA | Ye L.,Zheng X.,Ming AJ.,Chen FH.,Sun XL.,...&Chen DP.(2016).Formaldehyde gas sensor based on TiO2 thin membrane integrated with nano silicon structure.OPTOELECTRONICS LETTERS. |
| MLA | Ye L,et al."Formaldehyde gas sensor based on TiO2 thin membrane integrated with nano silicon structure".OPTOELECTRONICS LETTERS (2016). |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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