Research of periodic amorphous carbon composite films for MEMS IR source fabricated by magnetron sputtering
文献类型：会议论文
| 作者 | Ming AJ(明安杰) ; Sun XL(孙西龙); Wang WB(王玮冰); Liu WB(刘卫兵); Chen DP(陈大鹏)
|
| 出版日期 | 2016-04-20 |
| 文献子类 | 会议论文 |
| 语种 | 英语 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/16299]  |
| 专题 | 微电子研究所_智能感知研发中心 |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Ming AJ,Sun XL,Wang WB,et al. Research of periodic amorphous carbon composite films for MEMS IR source fabricated by magnetron sputtering[C]. 见:. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。