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Research of periodic amorphous carbon composite films for MEMS IR source fabricated by magnetron sputtering

文献类型:会议论文

作者Ming AJ(明安杰); Sun XL(孙西龙); Wang WB(王玮冰); Liu WB(刘卫兵); Chen DP(陈大鹏)
出版日期2016-04-20
文献子类会议论文
语种英语
源URL[http://159.226.55.106/handle/172511/16299]  
专题微电子研究所_智能感知研发中心
作者单位中国科学院微电子研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
Ming AJ,Sun XL,Wang WB,et al. Research of periodic amorphous carbon composite films for MEMS IR source fabricated by magnetron sputtering[C]. 见:.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

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