CMOS MEMS INFRARED SOURCE BASED ON BLACK SILICON
文献类型：会议论文
| 作者 | Chen DP(陈大鹏) ; Wang WB(王玮冰); Sun XL(孙西龙); Liu WB(刘卫兵); Ming AJ(明安杰); Ou W(欧文)
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| 出版日期 | 2016-04-20 |
| 文献子类 | 会议论文 |
| 语种 | 英语 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/16300]  |
| 专题 | 微电子研究所_智能感知研发中心 |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Chen DP,Wang WB,Sun XL,et al. CMOS MEMS INFRARED SOURCE BASED ON BLACK SILICON[C]. 见:. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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