Development of MEMS IR source by compound release process with nano-scale silicon forest radiation layer
文献类型：会议论文
| 作者 | Sun XL(孙西龙); Chen DP(陈大鹏) ; Wang WB(王玮冰); Mao HY(毛海央); Yang CY(杨成樾); Li CB(李超波); Ming AJ(明安杰); Liu WB(刘卫兵)
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| 出版日期 | 2016-10-30 |
| 文献子类 | 会议论文 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/16301]  |
| 专题 | 微电子研究所_智能感知研发中心 |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Sun XL,Chen DP,Wang WB,et al. Development of MEMS IR source by compound release process with nano-scale silicon forest radiation layer[C]. 见:. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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