基于晶圆键合的MEMS通用工艺平台技术研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 张乐民 |
| 答辩日期 | 2017-05 |
| 文献子类 | 博士 |
| 授予单位 | 中国科学院大学 |
| 导师 | 陈大鹏 ; 焦斌斌 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/16818]  |
| 专题 | 微电子研究所_智能感知研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张乐民. 基于晶圆键合的MEMS通用工艺平台技术研究[D]. 中国科学院大学. 2017. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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