本发明公开一种集成纳米结构的MEMS红外光源及其制备方法。所述集成纳米结构的MEMS红外光源包括承载衬底、支撑层、隔离层、图形化金属电极以及纳米材料辐射层；所述纳米材料辐射层覆盖在图形化金属电极上；所述图形化金属电极设于隔离层上方；所述隔离层设于支撑层上方；所述纳米材料辐射层、图形化电极、隔离层、支撑层均悬浮于所述承载衬底上。本发明可以大幅减少热传导通路，降低热质量，提高红外光源的性能；并且避免后续干法释放对结构的损坏，提高了结构稳定性。