本发明公开了一种太赫兹焦平面阵列，包括框架、悬臂梁和吸收结构；其中，吸收结构，包括依次层叠的第一金属层、第一介质层和金属方块阵列；悬臂梁，两个悬臂梁分别位于金属方块阵列的相对侧，每个悬臂梁为由纵部和横部首尾依次连接形成的多材料形变梁，其一端与框架固定连接，另一端与吸收结构固定连接。该太赫兹焦平面阵列形成了超材料的谐振腔，对能量低的太赫兹辐射有较强的吸收能力。