In-Situ Nano Structure Thin Film Fabrication of MOS Gas Sensor Based On Flexible Polyimide Substrate
文献类型：会议论文
| 作者 | Fenghua Chen; Wang WB(王玮冰); Wang YH(王英辉); XiLong Sun; Jiawei Wang; Jing Zhang; Hong Wang; Li Ye; Ming AJ(明安杰) |
| 出版日期 | 2018-04-19 |
| 源URL | [http://159.226.55.107/handle/172511/19136]  |
| 专题 | 微电子研究所_智能感知研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Fenghua Chen,Wang WB,Wang YH,et al. In-Situ Nano Structure Thin Film Fabrication of MOS Gas Sensor Based On Flexible Polyimide Substrate[C]. 见:. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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