本发明提出一种通过建立电容查找表快速提取含有冗余金属的互连结构的电容的方法。通过对多个互连结构提取几何参数、进行冗余金属填充并在填充后进行电容提取以建立电容查找表；然后对于需要进行电容提取的电路版图进行结构单元划分和几何参数提取，根据提取出的每个结构的单元几何参数查询上述电容查找表，获得该结构单元的实际电容。本发明解决了现有的2.5D电容提取工具无法准确提取含有冗余金属的互连结构的电容以及3D电容提取工具提取时间过长的问题。本发明提出的方法既能够确保提取出的电容精确度符合要求，又能够确保电容提取消耗的时间在可以接受的范围内。