面向纳米芯片可制造性设计的铜互连工艺建模与应用技术研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 阮文彪 |
| 答辩日期 | 2012-05 |
| 文献子类 | 博士 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 导师 | 陈岚 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/17244]  |
| 专题 | 微电子研究所_EDA中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 阮文彪. 面向纳米芯片可制造性设计的铜互连工艺建模与应用技术研究[D]. 中国科学院研究生院. 2012. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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