一种光探测植入式传感器及其制作方法及其控制系统
文献类型：专利
| 作者 | 任卓翔; 陈岚; 徐小宇; 胡启方 |
| 发表日期 | 2015 |
| 著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种光探测植入式传感器及其制作方法及其控制系统，所述传感器包括：发光器件，所述发光器件用于向人体组织内发射设定强度的探测光线；感光器件，所述感光器件用于获取经过人体组织反射后的探测光线的光强信息；其中，所述发光器件与所述感光器件形成在同一衬底的正面。所述传感器的发光器件与感光器件采用同一衬底制备，提高了传感器的集成度，降低了体积。本申请所述制作方法能够制备所述传感器，制作工艺简单，所述控制系统采用所述传感器，控制方法简单，植入创伤小。 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/17638]  |
| 专题 | 微电子研究所_EDA中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 任卓翔,陈岚,徐小宇,等. 一种光探测植入式传感器及其制作方法及其控制系统. 2015-01-01. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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