本发明公开了一种可制造性设计仿真器设计方法及系统，包括：接收集成电路设计版图，并将集成电路设计版图划分仿真网格；根据所述集成电路设计版图及化学机械平坦化工艺数据计算各仿真网格的接触压力；根据各仿真网格的接触压力仿真执行化学机械平坦化工艺后各仿真网格的形貌；根据执行化学机械平坦化工艺后各仿真网格的形貌优化所述集成电路设计版图。该方法在实现高精度仿真的同时，能保证计算效率，以获得计算效率和精度都能满足DFM仿真器设计的现实需求。